十级(ISO 4) 洁净车间
等级页固定四段① 关键指标
≥0.5 μm 粒子限值 ≤ 352 粒/m³;采用单向流送风,截面风速 0.3–0.5 m/s;相邻区域压差 ≥ 10 Pa;温度通常 22 ± 2 ℃。
② 适用行业与典型工序
半导体前道、光刻、精密光学、高精度传感器制造;典型工序为关键曝光与微纳加工区。
③ 气流组织与过滤配置要点
满布高效过滤器(FFU)或集中送回风形成单向流,回风采用高架地板或侧下回风;围护结构需控制发尘,人员与物料走洁净流线。
④ 本等级案例与说明
该等级为最高洁净等级,单方造价与运行能耗显著高于其他等级,通常仅对核心工艺区局部设置。